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High precision air floating platform system

高精密气浮平台系统

高精密加工气浮手机平台设计

High precision air floating platform system

 成品了解:C9000H直线行驶方程马达能够的空气轮毂轴承公司在重直外面和情况外面逐一主要主要采用了有效果的预数据加载整理。它可展示 严重的高钢性,是方法重载和偏置电动机负载应用的志向决定。内设的直线行驶方程系列伺服马达主要主要采用了零齿槽调节作用的无铁芯型式,无吸引着力,展示 是专业技能的高斯模糊运动健身。 性能参数指标体系:

行程范围:  50 mm\ 100 mm\ 200 mm\ 300 mm\ 400 mm\ 500 mm  
驱动系统:  直线伺服电机 (PAEKER-9000-A-668H)
反馈:  非接触直线光栅尺
分辨率: 0.001 μm -0.2 μm  
最大行程速度:  3m/s (80 in/s)
最大直线加速度:  2 g -20 m/s2  (无负载)
最大负载:  55.0 kg
连续保持推力:  153.6 N
峰值推力:  742.8 N
全行程精度:   ±0.2 μm ~ ±20.0 μm   
重复定位精度:  ±0.1 μm~±0.3 μm 
直线度和平面度: 最大偏差  ±0.25 μm ~ ±2.0 μm
倾斜度/滚摆/偏摆: ±0.5 arc sec ~ ±5 arc sec 
空气轴承工作压力: 80 psi (5.5 bar) ±5 psig (0.3 bar)
空气消耗量: <2 scfm
平台质量: 120.7 kg ~ 156.5 kg